深圳市华升鑫集成电路有限公司

本发明公开了一种应用变分自编码的线路板反应流形偏移检测方法及系统，接收反应器内多传感器采集序列并对齐构建反应状态观测序列；对其进行变分编码，生成潜空间概率分布的位置表示和散布程度表示并采样获得潜变量集合；通过反应状态解码重构反应状态序列，依据反应动力学守恒约束对物质浓度场组分平衡和能量场传递平衡进行偏离映射生成物理一致性残差；将物理一致性残差反向传递至潜空间对分布参数迭代修正，基于修正表示重新重构并将重构偏差与物理一致性残差交叉融合生成流形偏移度量信息；据此生成包含偏移方向指示和偏移程度指示的反应流形偏移检测结果。本发明显著提升了线路板反应过程偏移检测的准确性和对物理规律的一致性。