天府兴隆湖实验室

本发明公开了一种图形化掩模的制备方法，制备剥离图形膜层；在源基板的顶部从下至上依次设置剥离功能层和剥离硬掩模图形层。将剥离硬掩模图形层转印复制至目标基板，首先，将源基板上的剥离硬掩模图形层转移至第一临时基板的粘附层上；将第一临时基板上的剥离硬掩模图形层转印至第二临时基板的粘附层上；将第二临时基板上的剥离硬掩模图形层转印至目标基板上；此时剥离硬掩模图形层的图案与曝光掩模的图案一致。目标基板制备掩模图形；采用高功率等离子体刻蚀，将目标基板顶部裸露的金属层刻蚀去除；然后，清洗去除目标基板上的剥离硬掩模图形层。本发明具有工艺兼容性高的优点，可以实现批量化在目标基板上制备掩模图形，显著提高了工作效率，具有较好的实用性。

本申请提供一种无源光网络传输方法及无源光网络系统，涉及无源光网络技术领域，无源光网络系统包括光线路终端、光分布网络和多个光网络单元；光分布网络通过自由空间信道分别与多个光网络单元连接；所述方法包括：光线路终端将第一待发送光信号发送至光分布网络；光分布网络将第一待发送光信号转换为第一矢量光，并通过自由空间信道将第一矢量光发送至光网络单元；光网络单元根据第一矢量光得到下行数据；所述方法还包括：光网络单元将第二矢量光通过自由空间信道发送至光分布网络；光分布网络将待处理光信号发送至光线路终端；光线路终端根据待处理光信号得到上行数据，如此，可以避免无源光网络对光纤基础设施的依赖，降低系统成本。