특허 출원인 기록

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색인된 특허 기록 2건

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气体分配模块、衬底加工方法和衬底加工设备

公开了一种能够有效调节自由基组分的重组速率的气体分配模块、一种衬底加工方法和一种衬底加工设备。所述气体分配模块被配置为将气体供应至使用等离子体的衬底加工设备中的加工区，所述气体分配模块包括：上部电极；离子阻挡器，其设置在所述上部电极的下方，以形成血浆生成区；喷淋头，其设置在所述离子阻挡器的下方，以形成重组区；以及吹扫气体供应单元，其被配置为将吹扫气体供应至所述重组区。

❖细美事有限公司李城吉; 朴玩哉; 丘峻宅; 张禹出; 朴荣绪; 裴晟学; 吴东燮§ 3/20 청구항H01J 37/32 (2006.01), H10P 72/00 (2026.01)12

№ CN121382592A발명

유효

泵、化学物质供应单元和基板处理设备

本公开提供泵、化学物质供应单元和基板处理设备。根据本公开的实施方式的泵包括：壳体，具有形成在所述壳体中的压力空间；加压构件，通过加压管线连接到所述压力空间；以及多个管，设置在所述压力空间中，并且当所述加压构件通过所述加压管线将压力产生流体供应到所述压力空间时，所述多个管收缩。

❖细美事有限公司池田文彦; 金大成; 金海京§ 3/20 청구항F04B 43/113 (2006.01), F04B 43/08 (2006.01), F04B 53/06 (2006.01) +412

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