이름 기준 검색 결과이며 법적 주체의 동일성을 확인한 것이 아닙니다. 동명인·조직, 별칭 및 이전 이름을 자동 통합하지 않습니다.

원래 이름 필드 전체와 정확히 일치하는 기록입니다. 여러 출원인 또는 다른 역할의 당사자가 포함될 수 있습니다. 이름 경계와 법적 주체는 미확인이며 구두점을 분리하지 않습니다.

색인된 특허 기록 1건

특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.

검증된 수록 기간과 마지막 가져오기 시간은 현재 제공되지 않습니다. 공개일은 가져오기 날짜가 아닙니다. 캐시로 인해 새 기록의 표시가 지연될 수 있습니다.

로컬 원본 출원인 필드에 이 전체 문자열이 포함된 기록을 검색합니다. 공동 명의나 더 긴 이름이 포함될 수 있으며 정확한 주체 검색이 아닙니다.

一种兼具高适应性和高效的聚焦系统及其工作方法

本发明涉及一种兼具高适应性和高效的聚焦系统，包括：光路系统，其用于对晶圆上的待测对象进行聚焦并检测；Z轴平台，其用于承载光路系统；其中，光路系统上集成有压电陶瓷、光路传感器、步进执行机构和物镜可切换装置，光路传感器与步进执行机构形成第一闭环系统，并且第一闭环系统用于实现粗调聚焦，光路传感器和压电陶瓷形成第二闭环系统，并且第二闭环系统用于实现精确聚焦，物镜可切换装置依据待测对象的大小通过控制系统的信号实现不同倍数的物镜移动到主光路系统的光轴上。本发明提供了一种兼具高适应性和高效的聚焦系统，通过优化机械结构和采用高效的控制系统，实现了宽范围负载、负载承受力可调节、高响应多功能聚焦系统。

❖魅杰半导体设备（无锡）有限公司刘再庆; 杨柏; 梁安生; 王婷婷; 胡伟雄§ 2/7 청구항G02B 7/04 (2021.01), G02B 7/14 (2021.01), H10P 74/00 (2026.01) +2

전체 도구

원래 이름 기록: 魅杰半导体设备（无锡）有限公司

一种兼具高适应性和高效的聚焦系统及其工作方法