一种高效散热结构的功率模块及其制备方法
本申请提供了一种高效散热结构的功率模块及其制备方法,功率芯片和基板的清洗准备,在功率芯片背面形成金锡共晶层,将功率芯片背面的金锡共晶层与基板对应位置对准,然后在共晶温度下使金锡共晶层充分融化并与基板紧密结合,完成焊接。本申请采用在芯片背面直接形成金锡共晶层并进行焊接的方式,相较于传统焊接方式,降低了焊料层的厚度,进而有效降低了热阻,进一步优化了散热性能,有效降低功率芯片的工作温度,进而提升其可靠性和使用寿命。高精度的共晶焊接工艺保证了连接的精度和一致性,使功率芯片的性能得以稳定发挥。金锡共晶焊接所形成的连接方式,具备较低的连接电阻,减少了功率传输过程中的热损耗,提高了系统的能源利用效率。