№ CN121358886A발명
유효利用醇在含硅表面上金属膜的区域选择性沉积
一种用于选择性钝化衬底表面的方法,其中衬底表面包括包含氮化硅的至少第一表面和包含氮化硅以外的材料的至少第二表面。该方法包括将表面暴露于至少一种醇的步骤,其中醇选择性地与氮化硅反应以钝化第一表面,从而使第二表面基本上未反应。
❖弗萨姆材料美国有限责任公司; 默克专利有限公司刘柏君; 程岚霞; 王廷敏; M·R·麦克唐纳; B·佐佩; 李彰原; 雷新建§ 2/47 청구항C23C 16/04 (2006.01), C23C 16/02 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01) +129