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本发明公开了一种半导体含氟含磷废液分级反应结晶回收工艺及系统，含氟含磷废液与石灰溶液在氟回收结晶反应器中在pH为3‑4的条件反应形成氟化钙晶体，氟化钙晶体脱水得氟化钙颗粒晶体产品，氟回收结晶反应器出水、氟化钙晶体脱水滤液、石灰溶液和氯化钙溶液在二级反应池内以pH为5‑6的条件反应，并经混凝、絮凝和沉淀去除氟化钙、氟磷灰石、二氧化硅和硅铝沉淀，二级反应池出水、石灰溶液和氯化钙溶液在磷回收结晶反应器内以pH为7‑8的条件反应生成羟基磷灰石晶体，羟基磷灰石晶体脱水得到羟基磷酸钙颗粒晶体产品，本发明实现了分段去除特定污染物，同时产出高纯度氟化钙晶体产品和羟基磷酸钙晶体产品，实现氟和磷资源化。

本发明公开了一种微晶反应聚结工艺及系统，对原料储存罐中各种原料溶液在输送过程中进行稀释形成反应溶液，通过喷淋器将反应溶液分散为微米液滴匀喷洒在聚结结晶床内装填的微晶颗粒层上，各种反应物在晶体颗粒表面接触点发生原位诱导结晶反应，使晶体颗粒层内晶体颗粒逐步长大，通过对聚结结晶床内的晶体颗粒层进行间歇性脉冲反冲洗实现不同大小的晶体颗粒产生空间交换，大粒径的晶体颗粒移动到聚结结晶床底部并排出到脱水设备进行脱水，形成含水率在30％以下粒径范围在30‑50μm的大颗粒晶体产品，本发明能够抑制晶爆现象，提高了产品颗粒的粒径，提升了产品的颗粒均匀性和纯度。