이름 기준 검색 결과이며 법적 주체의 동일성을 확인한 것이 아닙니다. 동명인·조직, 별칭 및 이전 이름을 자동 통합하지 않습니다.

원래 이름 필드 전체와 정확히 일치하는 기록입니다. 여러 출원인 또는 다른 역할의 당사자가 포함될 수 있습니다. 이름 경계와 법적 주체는 미확인이며 구두점을 분리하지 않습니다.

색인된 특허 기록 1건

특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.

검증된 수록 기간과 마지막 가져오기 시간은 현재 제공되지 않습니다. 공개일은 가져오기 날짜가 아닙니다. 캐시로 인해 새 기록의 표시가 지연될 수 있습니다.

로컬 원본 출원인 필드에 이 전체 문자열이 포함된 기록을 검색합니다. 공동 명의나 더 긴 이름이 포함될 수 있으며 정확한 주체 검색이 아닙니다.

一种高精密的脉冲加热装置及方法

本发明公开了一种高精密的脉冲加热装置及方法，涉及脉冲加热装置技术领域，包括支撑组件，所述支撑组件的顶部设置有加热组件，所述支撑组件下端的表面安装有外接组件，所述支撑组件与加热组件的中部位置设置有吸附组件；本发明首先脉冲加热装置的核心加热片采用氮化铝材料及内部独特的发热线路设计，氮化铝材料具有导热性能好、热膨胀系数小等优点；独特的发热线路布局设计在保证升温速度快的同时，保证加热片面温度分布均匀；在此基础上，通过对加热片表面进行网格化细化测试并标定，形成加热片表面温度均匀性数据化，以准确匹配不同尺寸待加热对象的放置位置，进一步提升局部的温度均匀性指标。

❖深圳市晶品鑫诚半导体装备有限公司冯少鹏§ 2/9 청구항H05B 3/02 (2006.01), H05B 3/06 (2006.01), H05B 3/22 (2006.01) +310