广州市孖楂楂科技有限公司

本发明涉及面向数字孪生的芯片实时数据建模系统及方法，通过预先建立多个同类型芯片的数字孪生模型，在进行目标芯片的制造过程时，首先进行相似度检索看是否存在在相似度阈值内的在先同类型芯片如果存在的话，就直接以在先同类型芯片的下一时刻的调控指令直接进行目标芯片的下一时刻的调控，如果不存在，则再计算当前时刻的第二状态数据与同一时刻的在先同类型芯片的第一状态数据的平均值之间的偏差值，再以偏差值作为下一时刻的状态数据的调控指导通过大模型生成相应的调控指令进而对下一时刻的相关设备进行调控，本发明所提出的方法能够应对多参数耦合、非线性扰动的复杂场景，在极端工况下也能够保证目标芯片的稳定制造。