纯水制造装置
本发明提供一种纯水制造装置,其能够在各去离子水制造装置中实现足够快的流速,并且能够抑制施加过高的压力而使去离子水制造装置损伤。纯水制造装置具有:升压泵(3),其配置于去离子水制造装置(1、2)彼此之间;以及压力计(4b),其配置于升压泵3与位于该升压泵(3)的上游侧的去离子水制造装置(1)之间。位于升压泵(3)和压力计(4b)的上游侧的至少一个去离子水制造装置(1)是电再生式的去离子水制造装置。升压泵(3)动作的开始和动作的停止中的至少一者是基于压力计(4b)的测定值来进行的。
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