원래 이름 기록: 北京北方华创真空技术有限公司

本申请公开了一种真空卷绕镀膜用擦辊工具，涉及真空卷绕镀膜的技术领域，包括擦头、擦布、擦杆和定位装置；所述擦头包括主体；所述主体的一侧具有呈圆弧面的擦面；所述定位装置设置于所述擦头上，且所述擦布覆盖所述擦面后由所述定位装置定位；所述定位装置包括设置于所述主体背离所述擦面一侧的多个锁紧螺钉和多个压片；所述锁紧螺钉与所述主体螺纹配合，用于锁定所述压片，使所述擦布的端部绕至所述主体背离所述擦面的一侧后于所述压片与所述主体之间夹紧定位；所述擦杆的一端与所述主体连接。本申请能够方便工作人员对辊面进行有效清理，同时能够有效提高对镀膜灰的清理效果和安全性。

本申请涉及镀膜的技术领域,公开了一种蒸镀设备的快速维护系统，其包括蒸发区组件，包括安装座、电极柱以及水冷容器；所述电极柱与所述水冷容器均安装于所述安装座上，所述水冷容器围合所述电极柱，且所述水冷容器沿竖向开设有对所述电极柱进行避让的让位孔；移动搬运装置，包括底座、支架以及伸缩架；所述支架通过转动调节机构转动于所述底座上，所述伸缩架通过竖向调节机构沿竖向移动于所述支架上，所述伸缩架自身延伸长度能够沿横向调节，且所述伸缩架用于吊装所述水冷容器。本申请能够提高水冷容器的维护效率。

本申请公开了一种双开的点源蒸发镀膜设备，属于镀膜设备的技术领域，其包括真空腔室、真空泵组、卷绕车系统及工艺车系统，所述真空腔室位于所述卷绕车系统和所述工艺车系统中间，所述工艺车系统包括工艺车架，所述工艺车架的底部安装有车轮，所述工艺车架上安装沿竖向滑移安装有升降座，所述升降座上安装有密封法兰，所述密封法兰的顶部安装有蒸发源，所述真空腔室的底面开设有用于安装所述密封法兰的法兰口，所述工艺车架上设置有用于驱动所述升降座沿竖向移动的驱动组件。本申请具有操作方便且危险性较小的效果。

本申请涉及真空卷绕镀膜设备技术领域，尤其涉及一种带收卷压辊装置的跟踪辊机构，包括：机架，所述机架上转动连接有收卷辊；摆架总成，所述摆架总成与所述机架转动连接，且所述摆架总成上安装有过辊组件；压辊摆臂，所述压辊摆臂转动连接于所述摆架总成上，且所述收卷辊、摆架总成以及压辊摆臂的转动轴线方向一致；薄膜压辊，所述薄膜压辊转动连接于所述压辊摆臂上，且所述薄膜压辊能够与所述收卷辊上的料卷抵接；用于驱动压辊摆臂转动的驱动单元，所述驱动单元与所述摆架总成连接，且所述驱动单元与所述压辊摆臂连接；本申请具有在降低收卷时施加于薄膜上的张力的同时保障收卷的密实性以提高收卷效果的效果。

本申请涉及一种单晶炉异形加热器，涉及单晶硅制备设备的技术领域，加热器包括加热环以及连接腿，加热环轴向沿竖直方向设置，连接腿长度方向沿水平方向设置，并且连接腿一端与加热环固定连接且电连接。本申请通过将连接腿设计为水平设置，使得连接腿产生的热量主要沿水平方向辐射，这就能够降低连接腿对坩埚的额外加热，使得坩埚的热量主要来源于加热环，这就使得坩埚上加热区域主要集中在加热环对应区域内，从而能够降低坩埚的局部过热和高温分解，从而减少了坩埚向硅熔体中的析氧量，进而有效降低制备的单晶硅的含氧量，提升单晶硅的晶体品质。

本申请涉及碳化硅单晶制备的技术领域，提供一种减小粘接应力的碳化硅籽晶粘接方法，其包括对原料进行表面预处理，在籽晶托上通过涂覆粘接剂、贴合片形石墨纸、微孔化处理、固化等步骤形成复合过渡层，将籽晶粘接于复合过渡层上，再将石墨屏蔽环套设并粘接于籽晶托上得到籽晶粘接产品，还包括对籽晶托表面处理、烘烤，控制粘接温度和压力，最后进行质量检验等步骤。本申请通过设置具有微孔结构的复合过渡层，为本申请提供了高效的挥发物逸出通道，避免了界面气泡的产生；同时，复合过渡层有效缓冲了碳化硅籽晶与石墨托之间的热应力。

本申请涉及真空卷绕镀膜设备的技术领域，公开了一种称重传感器及蒸镀坩埚镀料闭环系统，一种称重传感器，包括：台座，呈块状结构，台座由上至下贯穿开设有两穿孔，两穿孔之间留有实体部，台座开由上至下开设有贯穿槽，通过贯穿槽将台座分割成固定部和形变部，形变部局部通过实体部与固定部连接；连接柱，安装于形变部上，应变片，贴敷于穿孔内壁上，应变片为弧形片状，应变片弧向的一端和形变部固定连接，应变片连接有多根信号线，放大器，和应变片的信号线电连接，通过应变片应变量确定形变部承受压力的大小，并形成电信号反馈到放大器上；固定部设置有环形通道，用于供冷却介质通入。本申请能够提升重量检测灵敏度。

本申请提供一种基于机器学习算法的真空设备设计方法及系统，涉及真空设备设计技术领域。本申请提供的技术方案通过根据待设计真空设备的实际需求参数将其划分为不同类型，并有针对性地进行优化调整：对于冷却型真空设备，重点优化第一初始优化方案形成第一特殊优化方案；对于强度型真空设备，重点优化第二初始优化方案形成第二特殊优化方案；对于兼顾型真空设备，则同时优化两个初始优化方案。这种基于需求参数进行分类并重点优化特殊区域的设计方法，避免了对所有区域都采用相同设计标准的问题。通过识别真空设备的特殊需求区域并进行针对性设计，有效降低了其他区域的过度设计，能够针对特殊区域生成调整设计方案，从而降低设计成本。

本申请提供的一种感应加热在线观察机构，包括安装板、观察防护组件和高温摄像组件。安装板设有冷却通道，安装板包括第一表面、第二表面以及贯穿设置的视窗孔。观察防护组件包括第一透光挡板、第二透光挡板和开槽挡板，第一透光挡板对应视窗孔设置，第二透光挡板可转动地设于第二表面远离第一表面一侧，开槽挡板可转动地设于第二透光挡板远离安装板一侧，开槽挡板开设有多个能够供光线透过的贯穿透光槽，第一透光挡板、第二透光挡板、开槽挡板以及视窗孔沿厚度方向的投影至少部分重叠为图像获取通道，多个贯穿透光槽分时地转入或转出图像获取通道。高温摄像的摄像头镜头朝向视窗孔设置，用于经由图像获取通道获取熔融蒸镀原料的光学图像信息。

本申请涉及一种防止保温层腐蚀的高温石墨化炉，涉及碳/碳复合材料生产的技术领域，高温石墨化炉包括炉体，炉体内壁设置有保温层以及若干石墨电极，炉体沿自身长度方向依次包括低温区、高温区以及降温区；真空抽气机构，真空抽气机构与炉体连通，并且真空抽气机构位于降温区；推动进气机构，推动进气机构与炉体连通，并且推动进气机构位于低温区；真空抽气机构用于将炉体内气体抽出，推动进气机构用于朝炉体内输送气体，真空抽气机构以及推动进气机构协同在高温区内形成从低温区至降温区定向流动的气流。本申请能够将石墨化炉内产生的废气及时排出，防止石墨化炉内保温层等部件被腐蚀，进而增强石墨化炉生产的连续性。

本申请公开了一种基于主动分区控温的蒸发系统及其控制方法，基于主动分区控温的蒸发系统包括蒸发舟、多路电源模块、温度传感模块及中央控制器。蒸发舟在电气上被划分为设置有高温电绝缘层的若干加热区；多路电源模块分别与各加热区电连接，用于独立提供加热功率；温度传感模块用于非接触式地测量各加热区的实时温度；中央控制器与传感模块和电源模块通信连接，用于获取预设目标温度，根据实时温度计算误差，并基于误差通过多路电源模块独立、动态地调整各加热区的加热功率，使实时温度趋近于目标温度。本申请通过分区、独立供电、实时传感和闭环反馈控制，实现了对蒸发舟各加热区的主动、实时、精确的温度控制，提高了镀膜工艺的稳定性。

本申请涉及一种真空镀膜用托盘传动系统及连续真空镀膜设备，涉及真空镀膜托盘传动领域，包括：托盘主体和驱动装置，托盘主体一侧设置有导向配合件，驱动装置包括动力输入设备和导向驱动件，导向驱动件被设计为可驱动导向配合件移动，动力输入设备设置于真空镀膜设备外部，导向驱动件设置于真空镀膜设备内部，用于驱动导向配合件移动，动力输入设备通过密封传动件控制导向驱动件动作，以使得导向配合件带动托盘主体沿产线方向移动，通过将动力输入设备设置在真空镀膜设备外部，从而能够避免动力输入设备产生的有机挥发对真空镀膜产生影响，另一方面由于密封传动件的密封条件更好，能够抵抗真空镀膜设备的内外压强差的同时，顺利传动托盘主体。