科峤工业股份有限公司

本发明公开一种物料盒气密性检测装置及方法，包括导引一特定压力的气体进入所述物料盒的一舱室集压，该舱室是由组成所述物料盒的一基础壳座和一基础门盖结合而成，随后测量该舱室内集压气体的一判断因子，用以检知该舱室的气密性，并于检知该舱室的气密性发生异常时，取用一排除漏气因素的标准门盖置换该基础门盖，用以检知所述气密性异常的漏气原因是来自该基础壳座或该基础门盖，以利更换并维护所述物料盒的气密性。

本发明提供一种清洁物料盒的搬运方法及装置，用于规划一取手搬运物料盒的一次性搬运路径，包括自一装载端口搬运物料盒至一解锁站，用以解锁物料盒成为一壳座及一门片，并且同时搬运壳座及门片至多个清洁站陆续接受清洁公序，而后再同时搬运清洁后的壳座及门片至解锁站锁定成该物料盒，用以以简化搬运路径，并且缩减搬运工时。