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本发明提供了一种结合三维模型数据的InSAR形变监测点高精度几何定位方法，属于合成孔径雷达技术领域，包括：将三维模型数据转换为空间直角坐标，结合卫星轨道参数迭代求解在SAR影像中的行列坐标，计算卫地观测矢量的斜距投影距离，筛选并剔除阴影区无效数据；以筛选结果为掩膜获取三维模型数据子集，计算所述三维模型数据子集与InSAR形变监测点的行列坐标，并基于平面几何约束搜索候选点，匹配高程系统偏差确定监测点的准确高程；基于确定的准确高程，构建距离约束、多普勒频率约束和椭球约束的RD定位模型，解算InSAR形变监测点的高精度几何位置。能实现基础设施InSAR形变监测点的高精度几何定位，提升在基础设施精细化形变监测中的适用性。