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机械手臂、检测微纳米元件的物理特征的检测装置及检测方法

本发明提供一种机械手臂、检测微纳米元件的物理特征的检测装置及检测方法。机械手臂包括一定位调整组件，其包括一滑轨组合件。滑轨组合件包括一滑轨顶盖及一弹性元件，滑轨顶盖的一滑轨容纳于一滑轨底座的一滑槽中，且弹性元件的两端分别固定至滑轨底座及滑轨顶盖。机械手臂更包括一手轮组合件、一连接于定位调整组件的悬臂件，以及一具有孔洞的夹持件。手轮组合件可与滑轨顶盖接触，且一连接件容纳于悬臂件内凹槽内。本发明中的机械手臂具备多轴方向的调整能力，且拥有良好的夹持稳定性，从而使检测装置的操作更加灵活便利，并提升测量结果的准确性。

❖衡升科技股份有限公司黄信豪§ 3/20 청구항B25J 9/02 (2006.01), B25J 9/10 (2006.01), B25J 15/00 (2006.01) +2

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机械手臂、检测微纳米元件的物理特征的检测装置及检测方法