一种超表面微结构的激光加工装置及方法
本发明涉及激光加工技术领域,具体涉及一种超表面微结构的激光加工装置及方法,包括激光器、光快门、空间整形模块、f光学系统、反射镜、聚焦镜、液体循环模块、平移台和控制系统;激光器产生的激光经过光快门后进入空间整形模块生成整形光束,并依次经f光学系统反射镜后,通过聚焦镜聚焦于待加工基底;液体循环模块放置于平移台的上端面且用于调整加工介质的混合比例以调节折射率;控制系统用于控制激光器的功率、光快门的开关、空间整形模块的输出模式、液体循环模块的加工介质比例以及平移台的运动。该超表面微结构的激光加工装置及方法的目的是解决超表面微结构加工效率低、精度受限、尺寸不可调、易受气泡碎屑干扰的问题。