基于金属纳米颗粒的光刻胶组合物及其应用
本发明公开了一类基于金属纳米颗粒的光刻胶组合物及其应用。该光刻胶组合物包括金属纳米颗粒、光敏剂、防扩散剂以及光刻胶溶剂,其中金属纳米颗粒为银纳米颗粒、铜纳米颗粒、金纳米颗粒。该光刻胶组合物具有良好的成膜性和优异的图案化成像能力,通过紫外、电子束或极紫外曝光,可以获得不同分辨率的光刻图案,形成的图案通过热处理后,具有良好的导电性,可以直接用于微纳器件的加工。
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