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색인된 특허 기록 1건

특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.

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一种基于跨设备偏差归集的制程能力收束方法及其系统

本申请公开了一种基于跨设备偏差归集的制程能力收束方法及其系统。通过识别已执行补偿动作中尚未完成的未达稳补偿响应，并与质量特性偏差及拟补偿响应跨设备归集，形成保留动作归属关系的偏差归集结果；据此确定设备群过程中心、设备间离散状态及制程收束余量，合成补偿响应，并在超出制程收束余量时建立补偿干涉关系；依据干涉关系确定补偿动作、执行权限及补偿约束，形成补偿控制数据并实施参数补偿，以实际响应更新偏差归集结果和后续控制数据，设备群满足收束条件时生成制程能力收束结果，从而提高跨设备质量一致性、补偿控制稳定性和制程能力收束效率。

❖成都润邦科技有限公司杜伟; 陈娜; 李成Oct 16, 2026§ 2/10 청구항G05B 19/418 (2006.01)