一种氧化铈靶材及其制备方法
本申请提供的一种氧化铈靶材及其制备方法,将粒径为10~500µm的氧化铈粉末置于模具中,并转移至无压烧结环境中进行无压烧结处理,获得氧化铈靶材;其中,所述无压烧结处理采用多阶段阶梯式升温,包括:低温升温阶段:从室温升温至300~400℃,保温2~4小时;中温升温阶段:从300~400℃升温至700~800℃,保温2~4小时;高温升温阶段:从700~800℃升温至1100~1500℃,保温2~7小时。通过将粒径为10~500µm氧化铈粉末置于模具中进行无压烧结处理,无压烧结处理采用多阶段阶梯式升温的方式,可以制备出80%~95%高致密度的氧化铈靶材,且靶材不易开裂,具有良好的大规模应用前景。