浙江珏芯微电子有限公司

本发明涉及微电子技术领域，具体涉及一种制作碲锌镉衬底片参考面的方法、碲锌镉衬底片及红外探测器，包括以下步骤：利用闪锌矿结构的解理面，在碲锌镉衬底片的（111）B面上确定侧面晶面；将所述解理面的延长线作为参考线，将所述参考线所在的侧面作为参考面；基于所述参考线，确定用于后续加工的边框区域，以使所述边框区域的至少一条侧边与所述参考线平行或呈预设角度。本发明利用闪锌矿结构解理面特性，在（111）B面快速确定侧面晶面，并以解理面延长线及所在侧面作为参考线与参考面来约束画框，有效克服了现有方案中衬底片侧边晶面的随机分布导致加工崩边、烘烤裂片等不确定性，本发明还实现了碲锌镉衬底片侧面晶面方向的标准的统一。