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本发明公开了一种配置声学孔的背腔发射型超声波换能器及避障系统，属于超声波换能器技术领域，包括从下往上依次层叠的顶电极、压电层、底电极和支撑层，以及衬底，衬底和支撑层构成开口朝上的背腔；顶电极、压电层、底电极和支撑层构成的有源区中央设置有沿上下方向贯穿有源区的声学孔，声学孔与背腔连通。本发明的超声波换能器旨在解决传统薄膜前向发射的不足，显著提升了超声波换能器的探测性能和应用灵活性。

本发明公开了一种阶梯声学孔超声波换能器及超声波探测器，属于超声波换能器技术领域，包括设置有空腔的衬底以及设置在衬底上表面且位于空腔正上方的多层结构，多层结构包括依次堆叠的种子层、底电极、压电层和顶电极，衬底设置有声学孔，声学孔沿上下方向贯通衬底并连通空腔；多层结构沿声学孔周向环绕设置且与衬底共同构成阶梯结构，阶梯结构的截面形状为开口往上逐渐扩大的阶梯形状，衬底与声学孔相邻的部分作为阶梯结构的第一阶梯。本发明的阶梯声学孔超声波换能器旨在解决薄膜声学孔在振动过程中因应力集中导致薄膜断裂的问题，实现降低薄膜断裂的风险，达到提高器件使用寿命的效果。

本申请涉及体声波谐振器技术领域，具体提供了一种体声波谐振器及其制备方法，该谐振器包括：由下至上依次连接的第一衬底、包覆式结构膜层、底电极、压电层和顶电极，包覆式结构膜层上设有声反射镜，底电极内设有温补层，底电极、压电层和顶电极的温度系数均与温补层的温度系数正负相反；该谐振器能够有效抑制了由底电极、压电层和顶电极产生的谐振频率漂移。

本申请提供了一种位置控制方法、滤波器联用系统、电子设备及存储介质，涉及半导体技术领域。通过建立以真空传输通道为基准的参考坐标体系，获取样品承载平台的目标位置信息，并实时获取样品承载平台的三维位置信息和机械臂的各关节角度信息。基于这些信息，能够生成机械臂的运动轨迹调整量，并据此调整机械臂的运动轨迹，确保样品承载平台准确进入对应的工艺腔。在工艺腔中，通过获取样品承载平台上的对准标记信息，能够进一步调整样品承载平台在工艺腔中的目标姿态，显著提高了样品在多个工艺腔室之间传输时的位置和姿态控制精度，从而保证了工艺的一致性，提升了器件性能的稳定性，并最终提高了产品的良率。