이름 기준 검색 결과이며 법적 주체의 동일성을 확인한 것이 아닙니다. 동명인·조직, 별칭 및 이전 이름을 자동 통합하지 않습니다.

원래 이름 필드 전체와 정확히 일치하는 기록입니다. 여러 출원인 또는 다른 역할의 당사자가 포함될 수 있습니다. 이름 경계와 법적 주체는 미확인이며 구두점을 분리하지 않습니다.

색인된 특허 기록 1건

특허 건수는 이 사이트에 수록된 중복 없는 특허 기록 수이며 출원인의 전체 특허 수가 아닙니다. 공동 명의 문자열은 단일 기업을 뜻하지 않습니다.

검증된 수록 기간과 마지막 가져오기 시간은 현재 제공되지 않습니다. 공개일은 가져오기 날짜가 아닙니다. 캐시로 인해 새 기록의 표시가 지연될 수 있습니다.

로컬 원본 출원인 필드에 이 전체 문자열이 포함된 기록을 검색합니다. 공동 명의나 더 긴 이름이 포함될 수 있으며 정확한 주체 검색이 아닙니다.

一种酸性蚀刻液及其制备工艺

本发明属于酸性蚀刻液技术领域，特别是涉及一种酸性蚀刻液及其制备工艺。一种酸性蚀刻液，按重量份数包括浓度为10‑15wt%的植酸溶液0.1‑5份、浓度为60‑65wt%的多聚磷酸溶液0.2‑7份、浓度为30‑35wt%的过氧化氢溶液0.2‑4.5份、浓度为20‑25wt%的苹果酸溶液0.1‑1.5份、浓度为5‑10wt%的没食子酸溶液0.05‑1份、水60‑100份。所制备的酸性蚀刻液对AlSb和InAs具有相同或较近的腐蚀速度，能够实现对InAs/AlSb材料的非选择性的刻蚀，同时下切效应和横向钻蚀宽度小，台阶侧壁较平缓，利于钝化膜的覆盖，腐蚀速率适中，可控性强。

❖淄博电子化学试剂科技有限公司张倩茜; 武斌; 孙维旺; 刘文斌; 田要娟§ 1/10 청구항C09K 13/06 (2006.01)

전체 도구

원래 이름 기록: 淄博电子化学试剂科技有限公司

一种酸性蚀刻液及其制备工艺