一种基于磁控溅射导热芳纶纸的制备方法
本发明公开了一种基于磁控溅射导热芳纶纸的制备方法,具体包括以下步骤:前期对芳纶纸预处理以及靶材预处理,将已预处理的靶材安装在磁控溅射设备溅射室,将已预处理的芳纶纸用铁丝固定在磁控溅射的基片台上,正常启动磁控溅射仪器,对腔体抽真空,然后向腔体中同时通入氩气和氮气混合气体,打开挡板,开始在芳纶纸基底表面溅射沉积AIN薄膜,沉积结束后,保温一定时间,然后冷却至室温,得到表面有AIN薄膜的芳纶纸。该方法工艺简单、成本低,利用溅射方式在芳纶纸张表面镀具有高导热的薄膜,可提高芳纶纸的导热性能。