원래 이름 기록: 深圳扩维原子科技有限公司

本发明公开了一种团簇束流设备，涉及团簇束流技术领域，包括工作平台及依次连接的团簇产生、束流调控、束流筛选、沉积机构。工作平台设滑轨与滑动结构，便于各机构灵活定位拆装。团簇产生机构含角度可调冷凝腔、可调节喷嘴及离子漏斗，实现团簇精准生成；束流调控机构的圆锥形溅射器分离无散射束流；束流筛选机构通过离子光学组件与多层导电极板质量选择器，适配不同质量筛选需求；沉积机构配备全自由度机械手、磁力驱动杆及伸缩机构，便捷完成衬底安装调整，保障真空环境稳定。设备解决现有设备调节不便、操作复杂、稳定性不足等问题，提升组装调试效率与适配性，适用于多领域材料制备。

本发明涉及等离子体电极放电设备技术领域，具体公开了一种电极三维角度调节装置，用于等离子体电极放电设备，等离子体电极放电设备包括第一电极和第二电极，第一电极和第二电极相对设置且具有间隙；电极三维角度调节装置包括：连接第一电极和/或第二电极的调节组件，用于调节其角度以使第一电极和第二电极对齐；本发明通过将连接有电极的电极固定球体在的内部转动，能够实现电极的三维角度调节，有利于电极对齐，而配合设置的固定组件能够对角度调节好的电极固定球体进行固定，调节组件和固定组件均由低电阻的金属材料制作而成，经过测试，该种结构不会影响电极和电源间的导电性能，双边电极通入电源后能实现击穿放电生成等离子体。