纳澈（苏州）光学科技有限公司

本发明公开一种多阶段变温热循环精密零件去应力方法及系统，包含：S1将待处理元件以0.5～3℃/min的速率升温至第一目标温度T1保温，T1满足0.35(TrecT0)≤T1T0≤0.45(TrecT0)；S2以低于V1的0.3～2℃/min降温至第二目标温度T2保温，T2满足0.25(TrecT0)≤T2T0≤0.35(TrecT0)；S3采用更低的0.1～1℃/min缓冷至室温；S4重复上述过程至指标达标。本申请适配金属、非金属多种精密基材，可有效保留元件力学性能、抑制热处理变形，应力去除效率高、适用范围广，依靠应力检测实现工艺自适应调控，保障零件表面品质与长期尺寸稳定性。