北京左文科技有限公司

本申请涉及晶种清洗技术领域，具体公开了一种金刚石晶种的清洗方法，包括以下步骤：晶种装载，低频超声清洗，高频超声多级漂洗，深度酸洗，终漂洗与IPA自动干燥；所述深度酸洗分为两阶段；第一阶段采用复合酸洗液在90‑110℃下酸洗15‑20min；第二阶段采用硫酸‑硝酸混合液在150‑250℃下酸洗15‑20min；其中，所述复合酸洗液包含以下含量的组分：硫酸20‑30wt%、亚铁盐0.5‑2wt%、络合剂0.5‑3%，余量为水；所述硫酸‑硝酸混合液中，浓硫酸和浓硝酸的体积比为（4‑9）:1。本申请提供的金刚石晶种的清洗方法能够提高金刚石晶种的洁净度，降低晶种破损率，进而能显著提升后续CVD生长的晶体均匀度与品质。

本申请涉及金刚石合成的技术领域，尤其是涉及一种优化MPCVD金刚石单晶毛坯生长的方法，包括以下步骤：S1、晶种预处理：对金刚石晶种进行除杂处理，得到预处理晶种；S2、晶种排布：将预处理晶种排布于生长基座上，相邻预处理晶种之间通过间隔控制件保持预定间隔；S3、多气氛串联外延生长：将生长基座置入微波等离子体腔体内进行刻蚀与修复处理，完成刻蚀与修复处理后在预处理晶种上进行外延生长，得到金刚石毛坯；S4、循环检测再生长：达到设定生长时长后取出金刚石毛坯，进行品质检测及表面除杂处理，将金刚石毛坯返回微波等离子体腔体重复执行S3，循环进行直至金刚石毛坯的累积厚度达到目标厚度。本申请具有提高毛坯品质与良率的效果。