№ CN122980025A발명
알 수 없음一种分区控温金刚石沉积设备
本发明公开了一种分区控温金刚石沉积设备,涉及金刚石沉积技术领域,包括沉积室,沉积室底部安装有多个安装板,安装板内安装有环形筒,环形筒两端分别安装有进水管和排水管,环形筒靠近排水管的一侧安装有调节件,调节件与侧环形筒之间安装有连通件。该实用通过在拦截板内安装由转动杆、转动板、螺纹筒和螺纹块组成的转动结构,再在拦截板内顶部安装由挤压筒和挤压杆组成的感应结构,利用感应结构调整转动结构进行偏转,当排水管内水位降低时,感应结构带动转动结构偏转并将连通管打开,使部分内侧排水管内水流流入外侧相邻的环形筒内,进而降低外侧环形筒的降温效果,便于沉积室内部温度调控,同时降低水资源浪费。
❖苏州旌晖创半导体新材料有限公司吴天如Oct 27, 2026§ 1/10 청구항C30B 29/04 (2006.01), C30B 25/16 (2006.01), C23C 16/27 (2006.01) +1