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本发明公开了一种硅烷、氯硅烷混合气处理工艺及控制系统、方法，涉及多晶硅生产中废气处理技术领域，工艺包括下述步骤：S1、混合气预处理；S2、氯硅烷深度脱除；S3、硅烷去除，经三级处理后至尾气中硅烷含量≤1.0mg/m、氯硅烷含量≤1.0mg/m，再放空尾气，同时公开了适用于该工艺的控制系统和控制方法，实现对多晶硅生产中产生的含氯硅烷、硅烷、氮气、氢气的混合工艺气体优化处理，减少碱液的使用，降低排放、降低生产成本。

本发明公开了一种由硅钙化合物制备甲硅烷的方法，属于甲硅烷制备技术领域，将硅钙化合物磨制成粉末后加入反应釜内，加入盐酸进行水解反应，水解反应生成的气体进入吸附净化装置进行吸附净化处理，处理后的混合气进入精馏塔中进行精馏分离提纯，精馏提纯得到甲硅烷产品。本发明利用硅钙化合物制备硅烷气，避免了硅化镁还原法、氢化铝钠法成本高，纯度低的问题，同时也避免了普通歧化法中流程长、能耗较高的缺陷，采用硅钙化合物制备高纯的硅烷产品。

本发明公开了一种利用氯硅烷废液制备高纯石英砂的工艺方法及生产系统，属于多晶硅副产物资源化利用技术领域。以氯硅烷废液为原料进行固液分离处理，将所得的高纯物料汽化，并使之与水蒸气混合进行气相水解反应，再将反应生成的二氧化硅颗粒进行煅烧处理，即得所述高纯石英砂。本发明实现了多晶硅渣浆处理装置中废液的资源化利用，以多晶硅渣浆处理过程中产生的氯硅烷废液作为起始原料，通过固液分离、气相水解和煅烧等一系列工序，制得高纯度石英砂产品。所得产品可用于多晶硅领域，作为坩埚制造的原材料，其中，气相水解工艺有助于形成粒径分布更为均匀的石英砂颗粒，提升产品品质。