№ CN121340477A발명
유효一种半导体晶圆的划片装置
本发明公布了一种半导体晶圆的划片装置,包括机壳,所述机壳的顶部左右两侧连接有侧支座,所述机壳的顶部中段连接有液压推杆,所述液压推杆的后侧自由端连接有联动块,所述联动块的顶部连接有平移座,所述平移座的顶部转动连接有转向轴,所述转向轴的顶部连接有加工台,两个所述侧支座的横部之间连接有导向组件,所述导向组件中滑动连接有横移座,所述横移座的底部连接有固定架,所述固定架内安装有划片组件,所述机壳的前端连接有PLC控制器;本发明结构设计合理,本装置不仅能满足半导体晶圆划片的高精度要求,还能通过连续化、自动化操作提升生产效率,同时兼顾工作环境的整洁,为半导体晶圆加工领域提供了一种高效、可靠的解决方案。
❖江苏芯格电子科技有限公司张俊; 李凤丽; 张光明§ 1/10 청구항B28D 5/02 (2006.01), B28D 7/00 (2006.01), B28D 7/02 (2006.01) +29