深圳新声半导体有限公司

本申请涉及声学器件技术领域，公开一种体声波谐振器的制造方法、滤波器，其中，制造方法包括：获取衬底，并在衬底上依次形成第二电极层、压电层、第一电极结构层后去除衬底，获得谐振主体结构；在第一电极结构层的远离压电材料的一侧沉积形成载体结构；对盖片晶圆进行研磨与刻蚀，形成具有凹陷的衬底层；在衬底层具有凹陷的一侧依次覆盖设置应力调节层和阻挡层，形成盖体衬底；通过盖体键合层将盖体衬底的靠近阻挡层的一侧与谐振主体结构的靠近第二电极层的一侧进行键合，形成第二空腔，并使第二电极层的部分位于第二空腔中。本申请能够实现盖体衬底与谐振主体结构的应力调节与电学隔离，提高器件可靠性与电学性能。