太阳能电池的钝化方法、制备方法、光伏组件及光伏系统
本发明提供一种太阳能电池的钝化方法、制备方法、光伏组件及光伏系统,钝化方法包括:在所述P型掺杂层表面沉积钝化层;加热所述太阳能电池至第一预设温;在所述钝化层表面沉积减反射层;在所述减反射层形成后,加热所述太阳能电池至第二预设温度进行退火,其中,第一预设温度和第二预设温度均高于减反射层形成时的沉积温度。本发明的太阳能电池的钝化方法通过在沉积减反射层之间和之后均进行高于沉积温度,提前缓慢释放了部分氧化铝和氮化硅中产生的多余的氢,避免了爆膜不良的产生。同时,在一定程度上增加了薄膜层的致密性,为氢钝化形成较好的保护屏障,改善了UV衰减,UV60衰减由之前的0.94%降低至0.64%。