№ CN121360896A발명
유효一种激光刻蚀装置
本发明提供一种激光刻蚀装置，属于干法刻蚀技术领域，该激光刻蚀装置包括激光刻蚀机本体、工作台和夹紧装置,夹紧装置均匀布设在工作台顶部，夹紧装置用以对工件的左右两端进行夹紧；将工件放置在工作台上，夹紧板对工件进行夹紧，同时弹簧进行压缩，对夹紧板进行缓冲，通过触发机构改变单向平移装置的移动从而阻止夹紧板对工件进行一步夹紧，防止夹紧装置对金属薄片造成损伤。
❖河南金之汇信息技术有限公司张帅; 党晓丽; 孙小龙; 杨军强§ 1/10 청구항B23K 26/362 (2014.01), B23K 26/08 (2014.01), B23K 26/70 (2014.01)11