一种用于稀土金属氟化物制备的气体分布装置

本发明公开了一种用于稀土金属氟化物制备的气体分布装置，涉及稀土金属加工技术领域，旨在解决当前设备在气体分布时气体虚浮在表面，难以深入的进气和排气，导致气体分配不合理的技术问题，包括炉体、安装在炉体内的气体分配组件。本发明气体分配组件内的进气设备和排气设备通过电控三通阀与主路输气结构连接，主路输气结构配合分支布气结构，在进气时旋转并伸展，让布气部能够在内炉的各个位置布气；排气时收缩，可将反应所需气体均匀输送至炉内各处，使气体在炉内形成立体分布状态。本发明通过气体分配组件的设计，实现了呼吸式的气体输送，从而使炉内气体的合理分配与高效循环，为稀土金属氟化物的制作营造稳定可控的反应环境。