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具有无悬键闭合边缘的图案化二维层状材料的加工方法
발명유효
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§ Ⅰ
개요
발명자
李雪妍; 王吉儿; 潘毅
IPC 분류
B26F 3/00 (2006.01)B26D 7/00 (2006.01)
本发明公开了一种具有无悬键闭合边缘的图案化二维层状材料的加工方法,在超高真空及低温条件下,利用扫描隧道显微镜针尖对双层二维层状材料进行裁剪,通过控制施加脉冲电压大小和持续时间实现原子精度精确注入能量,沿材料特定原子链方向原子级局部加工,得到两层平整对齐的新鲜边缘,重新成键形成无悬键闭合边缘。该方法实现了二维层状材料的原子级精确可控裁剪,达到了裁剪精度高、加工功耗低的效果,解决了图案化加工后边缘悬键随机吸附环境分子导致的边缘污染和杂散电子态问题。