二维原子层的纳米图案化方法

本发明提供了一种二维原子层的纳米图案化方法，在导电针尖和衬底之间施加交流电信号，通过水分子凝结在导电针尖和衬底表面的二维原子层之间形成的水桥，导电针尖在与二维原子层非接触情况下诱导氧化还原反应，将二维原子层直接氧化成气态产物或水溶性氧化物，从而实现纳米尺度的图案化。本发明的导电针尖施加交流电场，能够实现二维原子层的纳米级加工，适用于不同导电性（导体、半导体、绝缘体）二维原子层，且适用于带有介电层的衬底；另外导电针尖与二维原子层无需直接接触，避免薄膜撕裂或针尖磨损。