一种多晶硅生产过程中含氯硅烷固渣的除铝方法

本发明涉及多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅生产过程中含氯硅烷固渣的除铝方法。使用电热式干燥机以温度可控间歇加热的方式将多晶硅生产环节干燥后尾渣中残余的氯化铝及高沸物通过高温升华、蒸发后，由加热后氮气先运送至升华过滤装置滤除气相夹带的固体粉末，再运送至凝华装置将气相氯化铝及高沸物凝华固化后回收；凝华后不凝尾气与界区外送入氮气汇合后进入氮气过滤器过滤，通过引风机送入氮气加热器加热至200～250℃后进入电热式干燥机作为运输气；多晶硅生产环节干燥后尾渣通过加料罐分批次加入电热式干燥机，电热式干燥机升温至氯化铝升华温度（～350℃）以上。