一种氧化铟钨粉体、蒸镀靶材及其制备方法

本发明属于氧化物靶材技术领域，具体涉及一种氧化铟钨粉体、蒸镀靶材及其制备方法。本发明方法以氧化铟为主体，掺杂固定比例的氧化钨粉末后烧结制备得氧化铟钨前驱体粉末，再混入特定比例氧化铟粉末，烧结得到具有元素稳定、性能优异且稳定的IWO蒸镀靶材。