一种石英环的沉积装置及方法

本发明公开了一种石英环的沉积装置及方法，包括沉积炉，所述沉积炉底部开设有开口，上部设有燃烧器，所述燃烧器设置有多个，并均匀的围绕沉积炉设置，所述沉积炉外端开设有废气排放口，所述废气排放口围绕沉积炉设置有多个，所述沉积炉下方设有空心支撑柱，所述空心支撑柱上设有圆环垫片，所述圆环垫片与燃烧器配合，本发明进一步设置为，所述沉积炉中设有圆柱体，所述圆柱体中开设有导气腔，所述导气腔两端开设有排废口，所述排废口与废气排放口配合，提供额外的排气结构，该设备可直接生成石英环，提高生产效率，减少材料浪费，降低生产成本。