通过正弦波形多周期热处理控制石英玻璃假想温度均匀性的方法

本发明公开了一种通过正弦波形多周期热处理控制石英玻璃假想温度均匀性的方法，（1）预热阶段：将合成石英玻璃缓慢升温至中心温度Tc；（2）处理阶段：在中心温度Tc附近进行多周期的正弦波形升降温热扰动；（3）缓冷冻结阶段：热扰动结束后缓慢冷却至200℃以下，再自然冷却至室温；本发明采用基于正弦波形升降温的多周期扰动工艺，结合缓慢冻结策略，能够有效诱导玻璃结构均匀松弛，精确控制假想温度冻结路径，显著降低结构不均性和残余应力；处理后所得合成石英玻璃，其假想温度在直径方向的均匀性≤±10℃，应力双折射值≤2nm/cm，光学均匀性≤1.5 ppm。