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기록
一种用于MCVD应力棒硼径控制的延伸挤缩系统及方法
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
卞新海; 徐丹; 缪振华; 张子豪; 朱杰; 苏武; 周震华
IPC 분류
C03B 37/018 (2006.01)
本发明公开了一种用于MCVD应力棒硼径控制的延伸挤缩系统及方法,涉及预制棒制造技术领域。本发明包括底座、两个拉缩滑台、两个棒端装夹台、竖边架、移动台、加热机构、激光测径仪和两个冷却机构,两个拉缩滑台分别固定在底座两端顶部且与底座长度方向平行。本发明通过棒端装夹台能够装夹应力棒和驱动应力棒旋转,通过拉缩滑台能够对应力棒进行拉伸和挤缩,通过移动台和竖边架能够沿着应力棒轴向移动,通过激光测径仪能够检测应力棒的外径,通过加热机构能够对应力棒不合格点加热,用于后续的拉伸挤缩,通过冷却机构能够阻隔加热机构处的热量传导,实现了局部精细化的直径调控,保证应力棒整体均匀性。
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