一种铈掺杂氧化铟基蒸镀靶材及其制备方法和应用

本发明属于光伏电池技术领域，提供了一种铈掺杂氧化铟基蒸镀靶材及其制备方法和应用。本发明提供的铈掺杂氧化铟基蒸镀靶材，为同心圆柱结构，包括中心圆柱和包裹在中心圆柱外围的空心环状圆筒，且中心圆柱和空心环状圆筒具有同一中心，中心圆柱和空心环状圆筒均为氧化铟铈，但是两者的铈含量不同，其中，氧化铟95‑98wt％，氧化铈3‑5wt％；空心环状圆筒中氧化铟99‑99.9wt％，氧化铈0.1‑1wt％。靶材密度为4.169‑4.226g/m，电阻率低至78.9‑86.3Ω·cm，能够有效提高靶材的蒸发效率和均匀性，避免靶材残留，提高靶材的利用率。