一种铟锡氧化物靶材的制备方法

本发明涉及一种铟锡氧化物靶材的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：（1）对铟锡氧化物液体浆料依次进行真空除泡处理、流延成型处理和干燥处理，得到铟锡氧化物流延片；（2）对所述铟锡氧化物流延片依次进行分切处理和冷等静压处理，得到叠层铟锡氧化物流延片；（3）对所述叠层铟锡氧化物流延片依次进行脱脂处理和烧结处理，得到铟锡氧化物靶材。本发明提供了一种低成本、大尺寸铟锡氧化物靶材的制备方法，解决了大尺寸一体型铟锡氧化物靶材的制备问题。