一种钨基陶瓷靶材及其制备方法与应用

本发明公开了一种钨基陶瓷靶材及其制备方法与应用。涉及粉末冶金技术领域。上述钨基陶瓷靶材的组分，包括钨氧混合物、第一掺杂剂和第二掺杂剂；上述钨氧混合物选自Magneli相钨氧混合物，和/或，上述钨氧混合物选自钨单质和氧化钨；上述第一掺杂剂包括Zr、Co、Cu、Zn的氧化物中的至少一种；上述第二掺杂剂包括Mo、Ta、Nb、V、Y、Ti的氧化物中的至少一种。本发明通过钨氧混合物导电基体与双掺杂剂协同，实现高导电性、高透光率和耐腐蚀性。