氮化铝基复合陶瓷的金属化浆料、其制备方法及氮化铝基复合陶瓷

本申请公开了一种氮化铝基复合陶瓷的金属化浆料、其制备方法及氮化铝基复合陶瓷，所述金属化浆料包括75～105份金属相粉体(W粉60～75份、Mo粉15～30份)和10～25份复合添加剂(松油醇85～90份、乙基纤维素10～15份、油酸0.5～2份、硅烷偶联剂10～40份、同源氮化铝粉末100～300份)。通过复合添加剂中松油醇、乙基纤维素、油酸、同源氮化铝粉末与硅烷偶联剂的协同作用，使浆料烧结收缩率能够控制在16～18％，与氮化铝生坯带15～20％的收缩率匹配，解决了收缩失配导致的界面开裂问题。采用该浆料制备的氮化铝基复合陶瓷，金属化层与基体界面结合强度≥25MPa，热导率≥200W/(m·K)，尤其适用于环状及异性氮化铝陶瓷，可广泛应用于大功率半导体封装领域。