一种电子级双（二乙氨基）硅烷的制备工艺

本发明公开了一种电子级双（二乙氨基）硅烷的制备工艺，涉及化工合成技术领域。本发明电子级双（二乙氨基）硅烷的制备工艺至少包括以下制备步骤：将甲硅烷经低温吸附塔脱水，获得脱水甲硅烷，将二乙胺经分子筛膜分离重组分，获得纯化二乙胺；将所述脱水甲硅烷和所述纯化二乙胺在钯负载催化剂下反应，获得粗制双（二乙氨基）硅烷；将所述粗制双（二乙氨基）硅烷经减压精馏分离低沸物，再经乙二胺四乙酸改性硅胶床层络合吸附去除金属离子，获得电子级双（二乙氨基）硅烷。本发明制备的电子级双（二乙氨基）硅烷纯度≥99.9995%，氯离子≤20ppb，金属杂质总量≤8ppb，且反应收率≥91%，综合能耗降低50%以上。