一种三甲基氯硅烷的再生方法

本申请实施例提供一种三甲基氯硅烷的再生方法。包括以下步骤：将六甲基二硅氧烷与五氯化磷进行氯化反应，得到三甲基氯硅烷和三氯氧磷。本发明通过使用五氯化磷替代剧毒或强腐蚀性试剂，实现了在温和条件下安全、高效地将六甲基二硅氧烷转化为三甲基氯硅烷，并同步回收高价值副产物三氯氧磷，兼具环保与经济优势。