一种四(二甲氨基)钛的合成方法

本发明属于半导体材料化学合成技术领域，具体涉及一种四(二甲氨基)钛的合成方法，其包括以下步骤：(1)将四氯化钛与二甲胺反应，生成中间体TiClx[N(CH)]，其中x为0至4的整数；(2)使用二甲胺与有机金属锂试剂反应合成二甲氨基锂(LiN(CH))；(3)将步骤(1)所得的中间体与步骤(2)所得的二甲氨基锂反应，得到四(二甲氨基)钛。本申请通过采用分步反应策略，从根本上降低了对昂贵正丁基锂的依赖，实现了原料成本的显著降低，同时该路径通过生成中间体优化了反应历程，不仅大幅提高了产品产率，还有效减少了副产物的生成，提升了产品纯度。