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기록
用于薄膜沉积的钒前体化合物及利用该化合物形成含钒薄膜的方法
발명유효
11조회수
15청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
崔雄辰; 金健熙; 白善英; 金信范; 池成俊; 李太荣; 曺圭镐
IPC 분류
C07F 17/00 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)C23C 16/44 (2006.01)
本公开的实施方案提供了一种由化学式1或2表示的钒前体化合物。(在化学式1中，R、R、R和R各自独立地选自氢、具有1至6个碳原子的直链烷基和具有3至4个碳原子的支链烷基，且在化学式2中，n为0至4的整数，含钒元素的环为杂环烷基或杂环烯烃基，R、R、R、R、R和R各自独立地选自氢、具有1至6个碳原子的直链烷基和具有3至6个碳原子的支链烷基。)
§ Ⅵ
특허 도면
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