一种含硅抗反射涂层溶液组合物及其制备方法与应用

本发明属于光刻技术领域，涉及一种含硅抗反射涂层溶液组合物及其制备方法与应用，所述含硅抗反射涂层溶液组合物包括聚硅氧烷树脂、附着力促进剂、催化剂以及溶剂。本发明不增加额外的工艺步骤，直接在聚硅氧烷树脂溶液中添加相应附着力促进剂，不对Si‑ARC其它性能有较大影响的同时，增强了光刻胶的附着力，同时简化了对树脂设计的要求。