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一种透明超疏水薄膜及制备方法
발명유효
24조회수
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
喻志农; 袁嘉城; 冯云鹏; 王峰; 刘贤文; 温丛阳; 张硕
IPC 분류
C23C 14/08 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/58 (2006.01)G02B 1/113 (2015.01)G02B 1/18 (2015.01)
本发明公开了一种透明超疏水薄膜及制备方法,包括:S1、提供透明衬底;S2、通过磁控溅射法在透明衬底沉积氧化铝层,得到薄膜;S3、将薄膜置于水中浸泡;S4、使用硅烷偶联剂的疏水改性剂制备的改性液浸泡薄膜,形成疏水防污层,得到改性薄膜;S5、将改性薄膜从改性液中取出并退火。本发明通过对磁控溅射的氧化铝薄膜进行腐蚀改性等操作,从而解决了透明疏水膜难以高效生产的问题;相较于ALD有更高的速度以及更低的成本与迟滞角,相较于溶液法有更好的稳定性以及均匀性;含氟材料与不含氟材料均可以达到很好的效果,不含氟材料的成功制造可以大大减小氟污染。