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기록
一种长距离锆合金包壳表面均匀涂层、制备方法及应用
발명유효
7조회수
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ
개요
출원인
国核铀业发展有限责任公司; 山东华通新材料科技有限公司; 上海核工程研究设计院股份有限公司; 国电投科技孵化有限公司
발명자
于广泳; 吕琛; 虞海亮; 陈向阳; 贾超华; 杜雨曦; 张满; 崔严光; 谢汉芳; 王世波; 高存旺; 钟成林; 张敬; 金大力; 周田; 岳子腾
IPC 분류
C23C 14/16 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/02 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)G21C 3/06 (2006.01)G21C 21/02 (2006.01)
本申请提出了一种长距离锆合金包壳表面均匀涂层、制备方法及应用，方法包括将锆合金包壳基体清洗干燥后放入磁控溅射设备内的真空室，调节真空室的真空度和气压；用偏压电源通过高速氩离子轰击锆合金包壳基体的表面进行辉光清洗；利用氩离子轰击金属靶材的表面以使金属靶材溅射沉积在锆合金包壳基体的表面形成金属涂层；溅射反应条件包括在沉积金属涂层的过程中，中段比上段的氩气离子通量高5％‑10％；下段比中段的氩气离子通量高5％‑15％。本申请通过高功率脉冲磁控溅射工艺，通过调节磁控溅射气流量分布，从而调节长距离全尺寸锆合金包壳管的涂层厚度分布，使涂层具备更优异的均匀性。